Micro to Nano Solutions soutient le développement de capteurs haute performance et de dispositifs MEMS grâce à une microfabrication de précision et une intégration flexible des procédés. Notre plateforme est conçue pour prendre en charge le prototypage rapide, l’itération de conception et la production en petits volumes pour des dispositifs où l’intégrité mécanique, la précision dimensionnelle et les interfaces matériaux sont critiques.

Fabrication de MEMS et micro-capteurs

Nous prenons en charge une large gamme d’architectures MEMS, incluant des dispositifs micro-usinés en surface et en volume. Nos capacités de fabrication permettent un contrôle précis des caractéristiques structurelles, assurant des performances fiables pour des composants sensibles aux contraintes mécaniques et thermiques.

Applications typiques des capteurs et MEMS :

• Capteurs de pression, inertiels et environnementaux
• Plateformes de détection chimique et biologique
• Micro-actionneurs et transducteurs mécaniques
• Structures micro-optiques et microfluidiques

Grâce à la photolithographie UV avancée, à la lithographie par faisceau d’électrons, au dépôt de couches minces ainsi qu’à la gravure anisotrope sèche et humide, nous obtenons une définition précise des motifs, un alignement rigoureux et une excellente répétabilité à l’échelle du wafer.

Intégration des procédés et optimisation des dispositifs

Les performances des capteurs et MEMS dépendent fortement de l’intégration des procédés et des interactions entre matériaux. Nous collaborons étroitement avec nos clients pour développer et affiner des flux de fabrication équilibrant contraintes mécaniques, propriétés des films et exigences de libération des structures.

Notre expertise comprend :

• Films minces à contraintes contrôlées et empilements multicouches
• Gravure à fort rapport d’aspect et formation de cavités
• Procédés à couches sacrificielles et libération structurelle
• Collage de wafers et recuits post-traitement

Ces compétences nous permettent d’optimiser la sensibilité, la fiabilité et le rendement des dispositifs, tout en soutenant des conceptions non conventionnelles et des systèmes de matériaux innovants.

Du concept au dispositif fonctionnel

Micro to Nano Solutions est spécialisée dans la fabrication en petits lots à haute précision, ce qui fait de nous un partenaire idéal pour les programmes de capteurs et MEMS axés sur la R&D. De l’accompagnement en conception et du développement de procédés jusqu’à la fabrication au niveau du wafer et la découpe, nous offrons un parcours optimisé menant de la validation de concept à des dispositifs fonctionnels.